- Plasma측정방식 : Duo 방식 (Axial and Radial 모두 가능)
- 분해능 : 0.007nm이상
- RF generator : 27MHz, Solid state방식 (반영구적)
- 검출기 : 반도체를 이용한 CID or CCD검출기 (Blooming, Memory현상 제거)
291,600개의 Pixel (540 x 540)
- Gas control : Mass Flow Controller 제어방식으로 반영구적이고 정확한 조절
- Torch : 완전 분리가 가능한 Fully demountable torch로서, 분리 및 세척 용이