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- i-Tube No. 0210-Z-0020
- NTIS No NFEC-2011-01-136121
- 설치기관 전남대학교산학협력단
- 주소 광주 북구 용봉동 전남대학교
- 담당자 류상완 (T. 062-530-3476 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
PHILIPS
-
모델 명
Xpert-PRO
내용연수14년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
화합물전처리/분석장비 > 분광분석장비 > X-선회절분석기
장비활용범위공동활용허용
-
취득일
2002-10-29
취득금액166,550,260원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
직접사용
설치형태고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료1원
장비설명
비파괴 분석으로 시편의 회수가 가능(Wafer를 쪼개지 않고 측정) - 선(先)조정 고속호환 광학계를 사용하여 별도의 보정과 영점조정 없이 단시간에 측정 - 초고속 검출기를 사용하여 측정시간의 약 100배 단축 및 10배 이상의 고 감도 측정
장비 구성 및 성능
반도체 및 산화물의 초박막 결정구조 및 배향 상태를 정밀하게 해석하기 위한 장비로서 각 구성부품을 마운팅하는 Platform을 통일하였고 RTMS(Real Time Multi Strip)기술이 적용된 개념을 사용하였다.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
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