스카이엘이디

없음

1. 섬광단결정 성장이 가능한 Czochralski방식의 성장시스템이다.
2. 도가니 장입이 가능한 Chamber부, 도가니에 고온의 온도를 유지시키는 Hot Zone부, 전기적인 부분을 제어하는 전장부, 성장되는 섬광단결정의 무게를 측정하는 Load Cell부, 성장을 위해 단결정을 서서히 당기는 기구부 등으로 구성되어 있으며, 온도는 고주파 유도가열방식을 이용한다.

1. 본체
1) 크기 : 1,200mm(폭) × 1,475mm(길이) × 3,282mm(높이) 이하
2) 히팅 시스템
- 고주파 유도가열 방식
- 최대 온도 : 1,800℃ 이상
3) 1 inch 잉곳 도가니 사용
- 소재 : 이리듐
- 사이즈 : 최소 도가니 직경 φ50mm x H50mm, t = 2.0mm
4) 분위기 가스 : 아르곤

2. 챔버 (Chamber)
1) 스텐레스 강(sus304) 이중 선체로 내외벽 사이에 냉각수를 흘려 고온으로 가열시 장비의 이상을 방지, 챔버 상부 도어 타입 구조
2) 크기 φ654mm x H 970mm
3) 챔버 상부
- 가스 배기 포트
- 뷰포트 윈도우, φ100mm
- 열전대 포트
4) 챔버 몸체 : 측정 기기를 위한 포트 : G1/4”
5) 챔버 베이스
- 히팅 코일 연결 포트
- 가스 배기 포트
- 열전대 포트
- 진공 배기 포트 : NW/25
6) 챔버 분위기
- 진공 : 5 × 10-2 Torr
- 주입가스 : 0.05 MPa

3. 기구부
1) 씨드 샤프트 유니트 (Seed shaft unit)
- 수직으로 움직이고, 크리스탈을 회전시키기 위한 씨드 샤프트
- 크리스탈 무게와 로드셀 간에 접속 탭
- 챔버 내 분위기를 유지하기 위한 SUS 벨로우즈
- SUS 304로 만들어진 씨드 척과 포스 바 간의 씨드 척 홀더 접속 로드
2) 씨드 샤프트 이송장치 (Seed shaft driving device)
- 성장 속도 0.5~10 mm/hr, 제어 정밀도 FS±1.0%
- 빠른 피드 속도 2~100 mm/min(클러치에 의한 변경 속도)
- 회전 속도 0~30 rpm 제어 정밀도 FS±1.0%
- 수직 피드 이동 300 mm
- 최대 풀링력 2kN
- 풀링 전기 모터의 공급 전압 220V
- 회전 전환의 주파수
3) 씨드 샤프트 디바이스 조정 (Seed shaft device control)
- x-y 방향 조정
- ±10m