Bruker

없음

마이크로 X선 회절분석기mu$-XRD)는 수십에서 수백 마이크로미터mu m$) 수준의 극소 영역에 X선 빔을 집중 조사하여 시료의 결정 구조를 정밀하게 분석하는 기능을 수행합니다. 거시적인 평균값을 측정하는 일반 XRD와 달리, 미세 이물질, 다층 박막의 특정 층, 또는 미세 패턴과 같은 국소 부위의 결정상(Phase) 식별, 결정화도, 배향성 및 잔류 응력을 비파괴적으로 측정할 수 있습니다. 또한, 시료 표면을 스캔하여 결정 구조의 분포를 2차원 이미지로 시각화(Mapping)함으로써, 복합 소재의 미세 조직 불균일성이나 결함 위치를 파악하는 데 핵심적인 역할을 합니다.

이 장비는 고휘도 X선 소스와 특수 광학계(Polycapillary 렌즈 등)를 결합하여 X선을 고밀도로 집광시킴으로써, 미세 영역에서도 충분한 회절 강도를 확보하는 것이 핵심 역할입니다. 마이크로미터 단위의 정밀 구동이 가능한 3축(X-Y-Z) 스테이지와 고해상도 카메라를 탑재하여 분석 위치를 정확하게 지정할 수 있으며, 고감도 2차원 검출기를 통해 짧은 시간 내에 방대한 회절 데이터를 수집합니다. 이러한 고성능 하드웨어 구성을 통해 반도체, 디스플레이, 지질 자원 등 다양한 분야에서 시료 전처리를 최소화하면서도 마이크로 단위의 미세 구조적 특성을 규명하는 탁월한 성능을 발휘합니다.