i-Tube

장비정보

제작사
웰이앤씨
모델 명
200L Teflon Pilot System

내용연수
10년
구분
옵션/액세서리(보조장치) (주장비:250L 특수반응기(HAS-C))

용도
시험
표준 분류
화합물전처리/분석장비 > 혼합/분쇄/반응장비 > 반응장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2022-12-14

취득금액
466,224,390원
인증정보
없음
기능
초고순도 반도체 소재 및 전자재료 공정개발
이차전지 전해질 및 전해액 소재 합성
불소계 정밀화학 소재 제조 공정 수행
부식성 물질 기반 공정실증 및 시험생산
용매 회수 및 가스 처리 공정 지원
Pilot Scale 공정검증 및 Scale-up 지원
장비 상세설명
200L 테프론 파일럿 시스템은 All Teflon Coated Reactor를 적용하여 금속이온 오염을 최소화하고 우수한 내부식성을 확보한 초청정 공정실증 설비이다.

본 장비는 250L 특수반응기(HAS-C), 200L 고압반응기, 1.5㎡ 진공건조기, 200L 압력 파일럿 시스템 및 아임계 추출 시스템과 연계하여 활용할 수 있으며, 반응, 정제, 건조 및 추출 공정을 통합적으로 수행할 수 있다.

또한 건식 진공펌프(Dry Vacuum Pump), Teflon Coated Gas Scrubber 및 정전기 방지 시스템을 적용하여 부식성 가스 및 불소계 화합물을 안전하게 처리할 수 있으며, 금속이온 오염 관리가 필요한 반도체 소재, 전자재료, 이차전지 전해질 소재 및 불소계 정밀화학 소재의 공정개발과 시험생산에 활용이 된다.

이를 통해 초청정 환경이 요구되는 소재의 공정개발, 시험생산, Scale-up 검증 및 양산화 연계를 지원하는 통합 Pilot Plant 설비이다.

이용안내

사용형태
기관의뢰 직접사용

설치형태
고정형
사용료 형태
일별

장비 사용료
700,000원

장비설명

공정연구 및 시제품 제작 장비로 부식성 물질(불산) 기반 반도체 소재 및 특수공정(고진공/고온/고점도고압 등) 연구장비
-내부식성이 우수한 Teflon으로 coating(Glass: Light Teflon coated glass) 되어 있음.
-정전기 방지장치로 인해 정전기에 의한 폭발에 대해 안정성가짐.

장비 구성 및 성능

• Materials
- 내부식성이 우수한 Teflon으로 coating(Glass:Light Teflon coated glass) 되어 있음.
- 불소 기반 반도체 소재(반도체 특수가스, 2차전지전해질 소재, 특수냉매가스 등) 개발에 활용
• Reactor : All Teflon coated(product side)
- Pressure : -1/1.90bar 이상
-Temperature : -10/+130℃ 이상
• Double mechanical seal (Sealmaster)
- Agitatorsealing : Seal face(SIC+SIC/KalrezO-ring)
• Shell & Tube Heat Exchanger
- Material : Teflon coated
- Capacity : 6m2 이상
• Receivervessel : 100L Teflon coated
• Protection class Ex-components : Ex d II C T4 (내압방폭구조, KOSHA인증)
• Bottom valve : Electro Static Discharge(ESD)patent system (Sensor : made by Gold)
• Dedicated equipment
- 150L Teflon coated Gas Scrubber : Tower velocity(1.0m/sec), Circulation ater(50L/min),
- Vacuum pump : Dry screw running(twin screw type, Variable pitch),Nominal displacement capacity (130m3/hr), Ultimate pressure(0.01mbar),Motor(5.5Kw, 2P, 60Hz, 440V, 3phase, Ex d II C T4 (내압방폭구조, KOSHA인증))

e-Tube 로그인

장비 매뉴얼