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- i-Tube No. 2210-A-0257
- NTIS No NFEC-2022-11-282670
-
설치기관
중재적메카노바이오 기술융합 연구센터
(전북대학교산학협력단)
- 주소 전라북도 전주시 덕진구 백제대로 567 (금암동, 전북대학교)
- 담당자 백나영 (T. 063-219-5731 )
- 매뉴얼
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온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
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제작사
FEI Company
-
모델 명
SCIOS 2 HiVac
내용연수10년
-
구분
주장비
용도분석
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표준 분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
장비활용범위공동활용서비스
-
취득일
2022-10-26
취득금액1,011,706,300원
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인증정보
없음
-
기능
1. Electron optics
1) Electron Beam Resolution
- 1.0nm at 15 kV SE resolution
2. High Throughput ion column optics
1) High-current ion column with Ga liquid-metal ion source
2) 3 nm at 30 kV(65nA) -
장비 상세설명
Ga source를 활용한 집속이온빔의 식각 특성을 활용하여 Sub-Micro & Sub-Nano의 미세 영역을 가공 및 분석하는 장비로 투과전자현미경의 샘플 제작 및 표면분석, 샘플 내부 결정, 결함 분석에 활용될 수 있고, Cryo System을 활용한 고분자, 바이오 시료에 대한 분석 및 지원 가능
이용안내
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료[Hr] 110,000원
장비설명
lectron 및 Ion 의 두 개의 column으로 이루어 진 Dual Beam system이 적용 된 장비이며, Ga source를 활용한 집속 이온 빔의 식각 특성을 활용하여 Sub-Micro & Sub-Nano의 미세 영역을 가공 및 분석하는 장비
장비 구성 및 성능
1. Electron optics
1) Electron Beam Resolution
- 1.0nm at 15 kV SE resolution
2. High Throughput ion column optics
1) High-current ion column with Ga liquid-metal ion source
2) 3 nm at 30 kV(65nA)
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