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장비정보

제작사
㈜LIV Energy
모델 명
-

내용연수
12년
구분
주장비

용도
시험
표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 열처리장비

장비활용범위
공동활용허용
취득일
2024-03-20

취득금액
92,479,050원
인증정보
없음
기능
- 비활성 Ar 상태에서의 에너지저장 재료 합성
- 고압 상태에서의 에너지저장 재료 합성
- 감압 상태에서의 에너지저장 재료 합성
장비 상세설명
- 온도: >500도 ℃
- 가압 압력: >5기압
- 감압 압력: <5*10-4 Pa
- Volume flow rate - N2 – 2*107
H2 – 2*103 - Base Pressure - VG · ISO-R <5*10-8
CF (Pa) <1*10-8
VG · ISO-R <3.8*10-8 CF (Torr) <7.5*10-9

이용안내

사용형태

설치형태
사용료 형태

장비 사용료
원

장비설명

본 장비는 밀폐, 압력, 온도를 제어를 제어할 수 있는 열처리 장치이며, 온도 500 ℃이상, 압력 5기압 이상, 감압압력 5*10-4 Pa 이하의 범위를 유지하는 열처리 장비로 재료 합성 및 열처리 과정에 있어 안정된 환경을 제공할 수 있다.

장비 구성 및 성능

- 온도: >500도 ℃
- 가압 압력: >5기압
- 감압 압력: <5*10-4 Pa
- Volume flow rate - N2 – 2*107
H2 – 2*103
- Base Pressure - VG · ISO-R <5*10-8
CF (Pa) <1*10-8
VG · ISO-R <3.8*10-8 CF (Torr) <7.5*10-9

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