본 장비는 1차 함유 원소 분석을 담당하는 파장 분산형 엑스선 형광 분석기와 2차 결정상 분석을 담당하는 회전 음극형 엑스선 회절 분석기로 구성되어있음
본 장비는 시료의 함유 원소에 대한 정성 분석을 토대로 결정상에 대한 정성 및 정량 분석이 가능한 엑스선 복합 분석 장비로 구성되어 있으며, 각각의 응용분야에 대한 맞춤형 구성으로, 분석 목적에 맞추어 최적의 형광 엑스선 분석 실험 및 엑스선 회절 실험이 가능함
회전 음극형 엑스선 회절 분석부 장비는 최대 출력: 9키로와트 이상의 장비로 고니오미터는 300밀리미터 이상(반경), 최소 구동 각도는 0.0001도 이하, 슬릿광학계 중 수광 슬릿은 자동, 수광 솔러 슬릿은 2.5도 & 5.0 도 ±20%이다.
또한 검출기는 면적: 380 mm² 이상, 검출 채널은 250개 채널 이상, 시료 장착대는 최대 장착 시료 수 10개 이상이며, 최대 장착 시료 크기는 8인치 이상이다.
파장 분산형 엑스선 형광 분석부는 사용 전압 범위가 20~60키로와트 (1키로볼트) 이상이고 사용 전류 범위는 5~150밀리암페어 (1암페어) 이하, 최대 사용 전력은 4키로와트 이상이다.
분광기 구성 형태는 상면 조사 또는 하면 조사, 분석 원소 범위는 4Be ~ 92U 이상, 시료 교환기는 최대 48 시료 교환 또는 이상, 시료의 회전는 30 rpm 이상, 0.5cm 샘플 사이즈가 가능하다.
본 장비는 각 분석부의 주장비와 부대장치를 함께 배치하여 운용해야 하며, 부대장치는 자동전압 정류기 냉각장치, 제어 등으로 구성되어있다.