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장비정보

제작사
Scienta Omicron
모델 명
NANOESCA MARIS SYSTEM

내용연수
11년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
화합물전처리/분석장비 > 분광분석장비 > 달리 분류되지 않는 분광분석장비

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-07-28

취득금액
2,051,744,730원
인증정보
없음
기능
- 나노미터 수준의 공간 분해능과 수 meV급 에너지 분해능 제공
- 실공간(real space) 및 k-공간(momentum space) 이미징 가능
- XPS, ARPES, PEEM 분석이 모두 통합된 하이브리드 기능
- 국소 영역 선택적 분석으로 복합 소재의 미세 특성 파악 가능
- 실시간 이미지 획득 및 분석 자동화 지원
장비 상세설명
- IDEA 에너지 필터: 이중 헤미스페리컬 구조로 < 25 meV 에너지 해상도 구현
- PEEM 광학계: < 35 nm 공간 분해능 보장, 다양한 대비 방식 지원
- 광원: UV, VUV, X-ray 광원 장착 가능 (수은 램프, HIS 14 HD, X-ray 등)
- 진공 시스템: 10⁻¹⁰ mbar 이하 유지, 다양한 펌프와 로드락 구성 포함
- 카메라: 고감도 CCD 탑재, 다양한 시간/속도 조건으로 이미지 저장 가능

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
일별

장비 사용료
[Hr] 75,000원

장비설명

◦ 광여기 전자의 운동에너지 측정.
◦ 측정 시료의 표면분포한 원소의 정량 분석.
◦ 측정 시료의 표면분포한 원소의 특정 결합에너지 분석.
◦ 방사광을 활용한 SPEM(광전자 분광현미경)에 활용가능.

장비 구성 및 성능

1. 초고진공(UHV) 시스템
- 진공도: < 1×10⁻¹⁰ mbar
- 다양한 광원 장착 가능 (UV, X-ray, VUV 등)
- 샘플 저장: 10개 이상

2. 이중 헤미스페리컬 분석기 (IDEA)
- 에너지 분해능: < 25 meV (15 meV 달성)
- 에너지 범위: 기본 0–200 eV (옵션: 0–1600 eV)

3. PEEM 광학계
- 실시간 고해상도 이미지 (보장 분해능 < 35 nm)
- 다양한 대비 (화학, 자기 등) 이미지 가능
4. k-space(모멘텀 공간) 분석
- 분해능: < 0.005 1/Å
- 실공간 ↔ k-공간 전환 지원

5. 카메라 및 소프트웨어
- CCD 카메라로 빠른 이미지 획득
- ProNanoESCA로 자동화 및 실시간 분석 가능

6.샘플 조정
- ±4 mm 이동, 정밀도 < 1 µm
- 고정밀 위치 제어

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