Malvern Instruments
Zetasizer NANO
10년
주장비
분석
화합물전처리/분석장비 > 입자분석장비 > 제타전위측정기
공동활용서비스
2026-09-04
134,824,600원
없음
- 동적광산란(DLS) 방식으로 액상 시료 내 나노입자의 크기(유체역학적 직경)와 입도분포를 측정하는 장비이다.
- 평균 입경(Z-average)과 다분산지수(PDI)를 산출하여 입자 균일도를 평가하는 장비이다.
- 전기영동광산란(ELS) 방식으로 입자의 제타전위와 전기영동 이동도를 측정하여 분산 안정성을 평가하는 장비이다.
- 정적광산란(SLS) 방식으로 고분자 및 단백질 등의 분자량을 측정하는 장비이다.
- 후방산란(173°) 검출 방식으로 고농도 및 탁한 시료를 희석 없이 또는 최소 희석으로 측정하는 장비이다.
- 12 μL 수준의 소량 시료로 비파괴 측정이 가능한 장비이다.
- 펠티어 방식 온도 제어로 온도 변화에 따른 입자 크기 및 제타전위 변화를 평가하는 장비이다.
- 측정 결과의 품질 판정과 분석 보고서 자동 출력을 지원하는 장비이다.
본 장비는 액체 중에 분산된 나노입자와 고분자의 크기, 표면 전하, 분자량을 분석하는 나노입도분석기이다. 레이저를 시료에 조사하면 브라운 운동을 하는 입자로부터 산란광의 세기가 시간에 따라 변동하며, 이 변동을 상관기로 분석하여 확산계수를 구하고 스토크스-아인슈타인 식으로 입자 크기와 입도분포를 산출한다. 입도 측정 범위는 0.3 nm~10 μm로, 수 nm급 나노입자부터 마이크로미터 크기의 응집체까지 하나의 장비로 분석할 수 있다.
시료에 전기장을 인가하여 입자의 이동 속도를 측정하면 제타전위를 계산할 수 있으며, 3.8 nm~100 μm 크기의 입자까지 측정할 수 있다. 제타전위는 나노입자 분산액의 안정성과 응집 경향을 판단하는 핵심 지표로, pH, 염 농도, 분산제 종류에 따른 안정성 평가에 활용된다. 또한 정적광산란을 이용하여 시료의 분자량도 측정할 수 있다.
시료는 소량으로 측정할 수 있고 측정 후 회수가 가능하며, 온도 제어 기능으로 측정 온도를 일정하게 유지하거나 변화시키며 입자 거동을 평가할 수 있다. 전용 소프트웨어는 측정 조건 설정, 데이터 분석, 결과 품질 판정, 보고서 출력을 일괄 수행하여 일관되고 재현성 있는 분석을 지원한다.
기관의뢰 직접사용
고정형
기타
[Hr] 1원
본 장비는 반도체 EUV(극자외선) 장비 및 인프라 구축 과제의 일환으로, EUV 공정에 사용되는 소재의 입자 특성을 평가하기 위해 구축한 장비이다. EUV 리소그래피 공정에서는 포토레지스트, 감광재, 공정용 케미칼 등 액상 소재의 입자 크기와 분산 상태가 패턴 품질과 결함 발생에 직접 영향을 미치므로, 이들 소재의 입자 특성을 정량적으로 평가하는 것이 중요하다.
본 장비는 동적광산란(DLS) 방식으로 EUV 관련 소재 내 나노입자의 크기와 입도분포를 측정하고, 전기영동광산란(ELS) 방식으로 제타전위를 측정하여 소재의 분산 안정성과 응집 여부를 평가하는 기능을 수행한다. 또한 소재 개발 및 공정 조건 변화에 따른 입자 특성 변화를 분석함으로써, EUV 소재 기업의 개발 단계 검증과 품질 확인을 지원한다.
이를 통해 EUV 장비 및 인프라와 연계하여 포토레지스트, 감광재, 공정용 케미칼 등 EUV 관련 소재의 평가 기반을 갖추고, 지역 기업의 EUV 소재 개발과 품질 향상, 기업 의뢰 시험·분석의 신뢰성을 높이는 역할을 한다.
■ 장비명 : Nano Particle Size Analyzer (나노입도분석기)
■ 모델명 : Zetasizer NANO (제조사: Malvern Instruments)
■ 본체 구성 : 광학 유닛(레이저, 검출기, 감쇠기), 시료 챔버, 온도 제어부
■ 측정 원리 : 입도 - 동적광산란(DLS) / 제타전위 - 전기영동광산란(ELS, M3-PALS) / 분자량 - 정적광산란(SLS)
■ 광원 : He-Ne 레이저, 633 nm, 4 mW
■ 검출기 : 애벌랜치 포토다이오드(APD), 후방산란 173°
■ 입도 측정 범위 : 0.3 nm ~ 10 μm
■ 제타전위 측정 가능 입경 : 3.8 nm ~ 100 μm
■ 분자량 측정 범위 : 약 980 Da ~ 20 MDa
■ 최소 시료량 : 입도 12 μL, 제타전위 약 150 μL
■ 온도 제어 : 펠티어 방식, 0 ~ 90 ℃
■ 정확도 및 재현성 : NIST 추적 표준 라텍스 입자 기준 ±2 % 이내
■ 부속품 : 입도 측정용 큐벳, 제타전위 측정용 셀, 표준시료
■ 운용 소프트웨어 : Zetasizer Software (Malvern Panalytical)
■ 제어 PC : 장비 제어 및 데이터 분석용 PC