보유장비현황
- 보유장비현황
- 마이크로 패터닝 시스템
- Micropatterning system
- i-Tube No. 2010-C-0249
- NTIS No
- 설치기관 나노종합기술원
- 주소 대전 유성구 대학로 291 (구성동)
- 담당자 이경균 (T.)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
172nm
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모델 명
pi-photon
내용연수10년
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구분
주장비
용도생산
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표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
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취득일
2020.10.05.
취득금액₩25,304,580
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
직접사용
설치형태이동형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료₩50,000
장비설명
본 장비는 기존에 필수적으로 사용되는 감광제를 이용하지 않고 고에너지인 광원을 이용하여 특정 유기물 표면을 172nm 파장을 이용하여 고성능 마이크로 패터닝이 가능하게 하는 장비이다. 사용성과 편의성이 높고 유지 및 관리 비용이 저렴하여 다양한 패턴 구현에 사용이 가능하다.
- 포토 레지스트가 필요없는 포토 리소그래피
- 다양한 유기 물질의 포토 리소그래피
- 최소 라인 폭 : 500nm
- 긴 램프 수명 : 최대 30,000 노출
장비 구성 및 성능
Output Intensity > 10mW/cm2
Intensity uniformity <3%
Peak output wavelength 172nm
Full width at the half maximum 8.9 nm
light emitting area : 43 X 43 mm
DC input voltage : 110~220V