경기도반도체기술센터

차세대융합기술연구원

보유장비현황

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장비정보

  • 제작사

    주식회사 에이아이티

  • 모델 명

    CMT-100A

    내용연수

    10년

  • 구분

    주장비

    용도

    분석

  • 표준 분류

    기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션

  • 취득일

    2025.06.23.

    취득금액

    ₩20,900,000

  • 인증정보

    없음

  • 기능

    - 면저항(Ω/□) 및 접지저항(Ω)을 정밀 측정하여 자재의 ESD 대응 성능 수치화 - 표면 전도 특성 변화 감지로 반도체 공정 중 이상 유무 조기 발견 가능 - 도전성, 정전기 방지성, 절연성 등의 전기적 특성 평가

  • 장비 상세설명

    - 본체, 2개의 평판 전극, 연결 케이블, 휴대용 케이스로 구성되어 있음 - 측정 범위는 10³~10¹² Ω/□로 반도체 산업에서 사용되는 대부분의 자재를 커버 - 자동 전압 전환 기능(10V/100V) 탑재로 재료 특성에 따라 적절한 전압 인가

장비 사용법

  • 사용형태

    직접사용

    설치형태

    고정형

  • 사용료 형태

    시간별

    장비 사용료

    [Hr] ₩20,000

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