디스플레이센터

Zygo Corporation

물리적측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비

없음

○ 미세표면형상 및 조도측정기 주요사양 <br/>◦ Main system <br/> - Core Technology : CSI (Coherence Scanning Interferometry) <br/> - Camera Type : Color 1.9Mp 이상 <br/> - 별도의 방진 테이블 없이 미세표면 및 조도 측정 가능한 백색광 간섭계 <br/> - Vert. Scan Speed : 50 ~ 171 ㎛/s <br/> - Max. scan range : 20 mm 이하 <br/> - Motorized XY stage range : 150 mm, Tilt : 3 deg <br/> - Motorized Z axis range : 100 mm, 분해능 0.1 um <br/> - Measurement Area(Based on 10X objective) : 0.8 × 0.8 mm <br/> - Step Height Repeatability : ≤0.3% <br/> - 표면형상 반복정확도 : 0.008 nm <br/>◦ Joystick(Motion controller) : possible to move the X, Y, Z axis by joystick

○ 비접촉 3차원 표면형상 측정 장비이며, 간섭원리를 이용하여 미세표면 형상 및 조도를 측정하는데 주로 사용 <br/> - SureScan 기술을 이용하여 진동이 있는 환경에서도 높은 측정 정밀도를 가지며 정밀 기계 부품 및 반도체 디스플레이 소자의 거칠기 및 표면형상을 측정하는데 적합 <br/> - Interferometer 방식으로 Autofocus, Field Stitching 기능이 구현 가능한 표면형상 및 표면조도 측정 자동화 시스템