첨단산업본부 디스플레이센터

충남테크노파크

보유장비현황

  1. 홈
  2. 보유장비현황

장비정보

  • 제작사

    프로윈

  • 모델 명

    P200

    내용연수

    10년

  • 구분

    주장비

    용도

    시험

  • 표준 분류

    기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비

  • 취득일

    2024.12.03.

    취득금액

    ₩89,719,830

  • 인증정보

    없음

  • 기능

    마스크 정렬(alignment) 및 자외선 노광을 이용하여 소자의 미세패턴을 시편표면에 형성된 photoresist (PR) 층으로 전사하고 마스크를 자동으로 얼라인하는 photo lithography 공정장비로써 자동 마스크 얼라이너라고 할 수 있다. Photo Lithography 공정을 수행하는 시스템으로서 감광막에 자외선부터 가시광선(365~450nm)을 직접 조사하여 반응 Wafer 및 기타 Substrate 위의 다양한 물질에 Pattern을 형성시키는 것을 목적하는 공정장비

  • 장비 상세설명

    Photo Lithography 공정을 수행하는 시스템으로서 반도체 소자 공성 시 감광막에 자외선(UV)을 직접 조사하여, 미세패턴을 구현하고 Wafer 등 샘플에 Pattern을 형성시키는 것에 활용되며 차세대 디스플레이 소재개발 및 실증기반 테스트베드 구축사업에서 도입하려는 마스크얼라이너 및 노광 장비는 QD, OLED디스플레이 제작 시 각 Layer에 대한 PHOTO MASK에 각인 된 패턴의 형상대로 유리기판에 회로를 그려주는 장비로 디스플레이 공정의 주요 핵심 장비이다. 때문에, 이 장비의 도입은 필수라 할 수 있다. 주 활용 목적은 중소기업의 수요에 맞게 소자 및 회로를 제작하는데 활용하여 QD-OLED 디스플레이 소재 평가를 통한 기업지원 목적으로 활용됨 <br/> <br/>Light Source가 UV Mercury Lamp로 350nm~450nm 범위의 파장대가 조사되는 노광모듈 <br/>

장비 사용법

  • 사용형태

    기관의뢰 직접사용

    설치형태

    고정형

  • 사용료 형태

    시간별

    장비 사용료

    [Hr] ₩45,000

목록