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장비정보

  • 제작사

    프로윈

  • 모델 명

    스핀코터 및 베이크시스템

    내용연수

    10년

  • 구분

    주장비

    용도

    시험

  • 표준 분류

    기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 식각장비

  • 취득일

    2024.12.03.

    취득금액

    ₩96,390,450

  • 인증정보

    없음

  • 기능

    1. 반도체 리소그래피 공정(lithography) 진행을 위한 필수 전처리 장비 <br/>2. 레지스트(resist) 두께 조절 및 코팅을 위해 사용 <br/>3. Photo Lithography 공정 중 고속 AC 모터를 사용하여 wafer 표면에 감광액(photoresist)를 평탄하게 코팅가능 <br/>4. 조각 시편 / 200mm×200mm Glass 코팅 가능 <br/>5. Vacuum pump를 통해 샘플 chuck 진공 <br/>6. 코팅 후 Etching 공정 및 드라이/건조가 가능

  • 장비 상세설명

    반도체 리소그래피 공정(lithography) 진행을 위한 필수 전처리 장비로서, 레지스트(resist) 두께 조절 및 코팅을 위해 사용되는 장비로 고속 AC 모터를 사용하여 wafer 표면에 감광액(photoresist)를 평탄하게 코팅이 가능함 <br/>조각 시편부터 최대 8인치 웨이퍼에서 200*200mm 사각 유리기판에 코팅이 가능하며, Vacuum pump를 통해 샘플 chuck 진공을 유지하며 Cover interlock을 통해 고속 시편이 날아가는 사고를 미연에 방지함. <br/>PR및 코팅에 사용되는 물질에 대한 스핀 코터 공정 레시피 제작 및 수정이 가능하며 공정 Resolution은 ±1%이내로 코팅이 가능 하며 코팅 후 Etching 공정이 가능

장비 사용법

  • 사용형태

    기관의뢰 직접사용

    설치형태

    고정형

  • 사용료 형태

    시간별

    장비 사용료

    [Hr] ₩50,000

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