그린수소수전해센터

(주)셀코스

기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터

없음

본 시스템은 금속 코팅 유형의 재료에 대한 박막 스퍼터링 시스템에 적용되며 본 장비의 사양은 표준으로 표시되지만 시스템 성능을 향상시키기 위해 특정 요구 사항에 따라 수정이 일부 가능한 시스템입니다. 해당 장비는 수직 이동 물류 설계로 제작되었으며 비상 정지 스위치가 장착되어 스위치를 누르거나 메인 퓨즈 차단기를 꺼 시스템 정지가 가능합니다. 제품 사이즈는 최대 250 * 450 metal sheet 투입이 가능하며 측면 영역 클램프 방식으로 제품 고정이 가능합니다. 3 cathode gun, RF/DC power sputter 기능이 장착되어 있으며 Magnetron cathode gun 으로 Ni, Cr, Pt 등 물질로 코팅이 가능하며 DC power 5kw, RF power (13.56 MHz)로 구성 8.10” TMP pump, throttle valve, H-vac valve와 TMP backing Rotary pump 로 구성되어있습니다. 타겟 교환 수평작업 Lid open 하여 작업성 편리하며 밀폐형 쉴드 적용으로 고가 소재 회수 능력이 향상된 장비 입니다.

1. GDL, 분리판, PTL등 전기전도도, 산화 방지를 위한 코팅용 장비로 증착시키고자 하는 물질을 진공 챔버에 넣고 가열하여 증착물질을 증발시켜 샘플에 증착하는 장비 2. 수전해 분리판 및 수전해 부품의 표면을 코팅하여 높은 전기전도도와 내부식성을 확보하기 위한 장비로, 분리판의 수전해 발전 효율 및 내구성 향상에 활용 3. 여기에 설명된 사양은 표준으로 표시되지만 시스템 성능을 향상시키기 위해 특정 요구 사항에 따라 수정이 가능 4. 본 시스템은 비상 정지 스위치가 장착되어 스위치를 누르거나 메인 퓨즈 차단기를 꺼 시스템 정지 가능 5. 제품 사이즈는 최대 250 * 450 metal sheet 투입이 가능 6.측면 영역 클램프 방식으로 제품 고정이 가능 6. 3 cathode gun, RF/DC power sputter 기능이 장착되어 있으며 Magnetron cathode gun 으로 Ni, Cr, Pt 등 물질로 코팅이 가능하며 DC power 5kw, RF power (13.56 MHz)로 구성 7. 10” TMP pump, throttle valve, H-vac valve와 TMP backing Rotary pump 로 구성되어있음 9. 타겟 교환 수평작업 Lid open 하여 작업성 편리하며 밀폐형 쉴드 적용으로 고가 소재 회수 능력 향상