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한국화학연구원

보유장비현황

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장비정보

  • 제작사

    Edwards

  • 모델 명

    Maxcool 4000H

    내용연수

    5년

  • 구분

    옵션/액세서리(보조장치)

    용도

    생산

  • 표준 분류

    기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 스퍼터 (주장비: EPN0019258)

  • 취득일

    2026.09.14.

    취득금액

    ₩268,000,000

  • 인증정보

    없음

  • 기능

    1. 폴리콜드 - 고진공에서 수증기 펌핑 시간을 최대 75% 단축시켜 전체 공정 시간 감축 - 고진공 시스템 내 잔류 가스의 65~95%를 차지하는 수증기를 효과적으로 포집하여 박막 품질과 접착력 향상 - 5.5분 이내 해동이 가능하여 빠른 사이클 전환 지원 - 주장비인 롤투롤 스퍼터(SPW-060C1)와 호환 가능 2. 분광모니터 - 주장비인 롤투롤 스퍼터(SPW-060C1)의 와인딩(Winding) 챔버에 장착하여 제품의 투과율/반사율을 실시간으로 모니터링 - Spectrum manager Ver2 소프트웨어로 구동

  • 장비 상세설명

    1. 폴리콜드 - Maximum load: 4000 W - Average temperature at maximum load: -98 ℃ - Coldest temperature at no load: -133 ℃ - Typical water vapor pumping speed: 327,800 ℓ/s - Maximum pump start pressure: 1 atm - Ultimate operating pressure: 5E-8 torr - Time to defrost: 5.5 min 2. 분광모니터 1) Portable 분광광도계 - 측광방법: Single beam 식 polychrometor - 측정파장범위: 350~950 nm - 검출기: Silicon photodiode linear array - 채널수: 512 - 파장정확도: ±0.5 nm - Baseline 안정성: 0.002 Abs/hour - Spectral band 폭: 5 nm - 연속측정회수: 1000회 - 적산회수: 1000회 - 노광시간(연속측정모드): 5 msec ~ 100 msec - 노광시간(통상측정모드): 10 msec ~ 10 sec - 광Fiber설치구: Φ10 mm Sleeve 2) Fiber 광원 Unit - 램프: 20 W 할로겐 램프 - 전원: 12 V 정전류 제어 - 광Fiber설치구: Φ10 mm Sleeve - 제어: MV-3000 연동 3) Fiber 전환기 - 광Fiber설치구: Φ10 mm Sleeve - 전환시간: 1초 이하 - 제어: RS-485 접속을 통한 PC 소프트웨어 제어

장비 사용법

  • 사용형태

    기관의뢰

    설치형태

    고정형

  • 사용료 형태

    일별

    장비 사용료

    [EA] ₩4,000,000

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