보유장비현황
- 보유장비현황
- 복합 센서 성능평가 시스템
- Probetation with semiconductor characterization analyzer
- i-Tube No. 2310-C-0086
- NTIS No NFEC-2023-10-290850
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 충청남도 천안시 서북구 양대기로길 89
- 담당자 금호현 (T. )
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
MSTECH
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모델 명
MST8000CL_DV
내용연수5년
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구분
주장비
용도생산
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표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션
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취득일
2023.10.23.
취득금액₩85,909,500
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인증정보
없음
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기능
- 고배율 마이크로스콥 및 ccd 카메라를 접목한 sub-100um 배선 라인 관찰 및 micro-positioner를 통한 probe-tip align을 통하여 정밀한 포지셔닝 및 고사양 반도체 특성 분석기를 통한 IV, CV, PMU, PGU, CVIV 측정 - 개발된 센서의 구동 특성을 파악하기 위한 활용 - 측정된 전기적 특성을 기반으로 S/W 및 calibration을 진행하여 보다 정밀하고 세밀한 물리적 현상을 전기적 signal로 변형시키는 소재/소자 특성 파악 및 정교한 센서 모듈 개발
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장비 상세설명
- 박막소자, 신소재, 반도체 IC (메모리, 비메모리), 인쇄회로기판, LCD display, LED nano tube, nano wire 등의 회로 특성 (전기적, 전자적) 분석에 널리 사용되는 장비 - 사용하기 쉬운 기능 - 저 잡음 메져 ( ~ Nano Volte Meter로 측정가능 ) - 200mm 기준 웨이퍼 사용 가능 - 개발된 센서의 구동 특성을 파악하기 위한 활용 - 본 장비를 통해 측정된 전기적 특성을 기반으로 S/W 및 calibration을 진행하여 보다 정밀하고 세밀한 물리적 현상을 전기적 signal로 변형시키는 소재 / 소자 특성 파악 및 정교한 센서 모듈 개발 - bio-FET 센서의 구동 확인을 위한 output 커브, transfer 커브와 기본 I-V, C-V 측정 - 주파수 (Resonant frequency)에 따른 소자 특성 확인 - 임피던스 (Impedance) 측정을 통한 피부 표면과 소자 계면에서의 노이즈 최소화 - signal to noise ratio (SNR) 최소화를 위한 noise reduction 모듈 개발에 활용 - I-V, C-V, PMU, PGU 등 측정하여 고성능 복합 센서 성능평가 시스템은 센서 구동 및 성능 확인
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
건별
장비 사용료[EA] ₩200,000
장비설명
- 박막소자, 신소재, 반도체 IC (메모리, 비메모리), 인쇄회로기판, LCD display, LED nano tube, nano wire 등의 회로 특성 (전기적, 전자적) 분석에 널리 사용되는 장비
- 사용하기 쉬운 기능
- 저 잡음 메져 ( ~ Nano Volte Meter로 측정가능 )
- 200mm 기준 웨이퍼 사용 가능
- 개발된 센서의 구동 특성을 파악하기 위한 활용
- 본 장비를 통해 측정된 전기적 특성을 기반으로 S/W 및 calibration을 진행하여 보다 정밀하고 세밀한 물리적 현상을 전기적 signal로 변형시키는 소재 / 소자 특성 파악 및 정교한 센서 모듈 개발
- bio-FET 센서의 구동 확인을 위한 output 커브, transfer 커브와 기본 I-V, C-V 측정
- 주파수 (Resonant frequency)에 따른 소자 특성 확인
- 임피던스 (Impedance) 측정을 통한 피부 표면과 소자 계면에서의 노이즈 최소화
- signal to noise ratio (SNR) 최소화를 위한 noise reduction 모듈 개발에 활용
- I-V, C-V, PMU, PGU 등 측정하여 고성능 복합 센서 성능평가 시스템은 센서 구동 및 성능 확인
장비 구성 및 성능
1. 반도체 검사기
(1) 8인치 원형 척_저잡음 척, 10fA
(2) 2중 샘플고정 스위치 : 중앙, 척 주변
(3) 2중 척 & 척주변 쉴딩
(4) 샘플 고정용 진공 스위치 6개(정밀 탐침 장치용, On/off 스위치 타입)
1) 200mm 샘플 진공 척 ----- (진공용 샘플 고정대)
① 저 잡음 샘플 진공 척
② 0 ~ 202.4mm Dia 이상 샘플 고정 가능
③ 샘플 온장, 조각 웨이퍼, 박막 조각 샘플 가능
④ 샘플 척 회전 15 ℃ 정밀 조정 핸들
⑤ 상하 스테이지 & 정밀 컨트롤 핸들
⑥ 상하조절 13mm (+/- 5 mm), 정밀도 : 1 um
2) 200mm x 200mm 좌, 우 스테이지 ----- (메인스테이지)
① 좌, 우 정밀, 빠른 속도 이동가능 타입
② LM full guide 이동 레일 타입
③ 정밀도 : 5 um 이하
④ 이동거리 : 200mm x 200 mm
3) 50mm x 50mm 좌, 우 정밀현미경 마운트 ----- (현미경 이동 거리)
① 동작 쉬운 정밀 마이크로 현미경 컨트롤
② 정밀도 : 5 um
③ 이동거리 : 50 mm x 50 mm
2. 정밀 현미경 장치
(1) CCD Zoom Camera
(2) Object Lens : 5x
(3) Zoom : 1 ~ 4.0x
(4) Dual Z Focus STP Knob
(5) Fiber Ring Guide & Volume Level Control
(6) Total Magnification : ~300x (Max)
3. 카메라
(1) 2.1M Pixel,
(2) CCD C-mount, 1/3”
(3) 15“ LCD Monitor Dual Port
(4) 영상선 RG179
(5) Converter
4. 정밀 탐침 장치
(1) Manipulator LM lead guide, Fine knob
(2) 이동거리 6 mm, 정밀도 : 3 um
(3) Vacuum Base Block Type
5. 탐침 장치 홀더_C15
(1) 3중 쉴딩 케이블 2m
(2) 케이블 2m, 3중 플러그
(3) 저 잡음 홀더 (~ 10 fA level)
6. 탐침 장치 홀더_C14
(1) 2중 케이블 50cm
(2) 케이블 50cm, 2중 플러그
(3) 그라운드 케이블 30cm
7. 8인치 온도 척 & 온도조절기
(1) 최대 온도 : 현재 온도 ~ 150도 이상
(2) 온도 조절 범위 : 1도 미만
8. 진공 펌프
(1) 620ml/sec, 온오프 스위치
9. 컨넥터 플레이트 : 3중 (f) to (f)
(1) 플레이트 : 4 SMU’s, 4 BNC’s
10. 제진테이블
(1) 사이즈 : 900(w) x 900(w) x 800(h) mm
11. 에어컴프레셔
(1) 6인치
12. 테스트 메져 시스템_에질런트 5270B
(1) 4 삼중 커넥터, 메져 소프트웨어 Easy Expert
13. 삼중 케이블
(1) 2m
14. GPIB 카드_USB
(1) 키사이트 USB 인터페이스
15. 테스트 메져 시스템_HP4284A
(1) LCR 미터
(2) 1MHz, 40V DC Bias
16. 시스템 컨트롤 랙_1400
(1) 랙 키보드 슬라이딩 타입
(2) 24인치