보유장비현황
- 보유장비현황
- 전계방출주사현미경
- FESEM
- i-Tube No. 1812-C-0364
- NTIS No NFEC-2019-01-248437
- 설치기관 (재)부산테크노파크
- 주소 부산 강서구 지사동 1276번지
- 담당자 김순현 (T.0519749137)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
테스칸
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모델 명
S-8000
내용연수10년
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구분
주장비
용도분석
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표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
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취득일
2018.12.27.
취득금액₩434,000,000
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰 직접사용
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료₩77,000
장비설명
일반광학현미경으로 관측이 어려운 시료의 미세영역을 고배율 50만 배 이상으로 확대하여 표면구조 및 형태를 확인할 수 있어 모든 과학 분야의 재료 및 제품에 대한 연구개발과 품질관리 향상에 필수적인 기기이다.
이 주사전자현미경(SEM)은 전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료표면의 관찰영역에 조사할 때 시료표면에서 발생되는 각종 정보들을 검출기를 이용하여 LCD로 영상을 표시하는 기능을 있다.
특히 이 장치의 경우 정전기 대물렌즈와 업그레이드 된 검출 시스템을 기반으로 Field-free 초고 해상도 영상을 산출하며 자기장이 샘플에 영향을 주지 않아 자기 샘플과 비자성 샘플 모두 고해상도 결과를 검출할 수 있다.
장비 구성 및 성능
○ 장비 Type: 전계방출현미경(Field-Emission Scanning Electron Microscope)
○ 구성: FE-SEM, EDS 및 Metal Sputter Coater
○ Electron Gun: Schottky emission source
○ Resolution: ≤ 1.5nm @ 30kV
○ Accelerating Voltage: ≤ 50kV
○ Magnification: ≤ × 2,000,000
○ Specimen stage: X= -65~100mm, Y = -65~65mm, Z= 0~100mm
○ Tilt: -60~90°
○ Rotation: 360° continuous
○ Energy Dispersive Spectrometer 포함