보유장비현황
- 보유장비현황
- 집속 이온빔 장치
- Focused Ion Beam
- i-Tube No. 2306-A-0064
- NTIS No NFEC-2023-06-288447
- 설치기관 (재)부산테크노파크
- 주소 부산 강서구 지사동 1276번지
- 담당자 김경화 (T.)
- 매뉴얼
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예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
TESCAN
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모델 명
SOLARIS X
내용연수10년
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구분
주장비
용도분석
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표준 분류
광학/전자영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
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취득일
2023.06.26.
취득금액₩1,743,500,000
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인증정보
없음
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기능
제논(Xe) Laser FIB는 기존 갈륨(Ga) FIB 보다 약 20~30배 빠른 밀링 속도를 가지므로 대영역의 단면을 빠르게 밀링하여 관찰
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장비 상세설명
Xenon Plasma Focused Ion Beam System
장비 사용법
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사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
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사용료 형태
시간별
장비 사용료[Hr] ₩150,000
장비설명
- Ion Column 혹은 Laser를 주사전자현미경에 부착하여 시료의 원하는 관심 부위를 SEM으로 관찰하며, Xe-Ion Beam 혹은 Laser로 시료의 defect 및 관심 영역을 밀링하여 분석하는 장비임
장비 구성 및 성능
• Source : 제논 플라즈마
• Beam Current : Up to 3uA or fs laser <350fs
• SEM 분해능 : 0.7nm at 15keV or less
1.2nm at 1keV or less
• SEM 가속전압 : 200eV to 30keV or wider
• Stage Movement : X = 100mm or wider
Y = 100mm or wider
Z = 30mm or wider
T = –15° to 70° or wider
R = 360° continues