제공서비스
- 제공서비스
전력반도체(SiC) 소자제작 일괄공정 서비스
서비스 개요
| 서비스 유형 | 일반 서비스 |
|---|---|
| 서비스 설명 | 전력반도체(6인치 SiC)관련 소자개발에 필요한 일괄공정(산화막 형성, 고온이온주입, 고온어닐링, 후공정 등) 지원 |
| 서비스 설명 자료 |
|
| 분류 | 전기전자 > 반도체디스플레이 > 반도체 |
| 서비스 공정구분 | 시험/평가/신뢰성 |
| 세부공정 | 시험/평가/신뢰성 : R&D 장비지원 및 장비연계 기업지원 |
| 적용제품 | (전력)반도체 적용 부품 및 완제품 |
| 서비스 운영기관 | 전력반도체센터 |
| 코디네이터 담당자 |
ㆍ성명 : 박주철 / 책임연구원 ㆍ소속기관 : 재단법인구미전자정보기술원 ㆍ연락처 : 1533-0101(내선4), 054-479-2181 ㆍ이메일 : jcpark13@geri.re.kr |
| 서비스 담당자 |
ㆍ성명 : 권영재 수석연구원 ㆍ연락처 : 051-5133-910 ㆍ이메일 : yjkwon@btp.or.kr |
서비스 상세내용
| 서비스공정 | 서비스 지원기간 | 서비스 설명 | 세부공정 |
|---|---|---|---|
| 1.시험/평가/신뢰성 | 2026 ~ 2028 개월 |
|
|
-
서비스공정1.시험/평가/신뢰성서비스 지원기간
- 2026 ~ 2028 개월
서비스 설명- 6인치 SiC 웨이퍼를 활용한 전력반도체 소자 제작에 필요한 일괄공정을 서비스
세부공정- R&D 장비지원 및 장비연계 기업지원