반도체·에너지산업센터

사례연도 -

기업요구사항 - EUV용 포토레지스트 유기 전구체 합성 시 수율 및 순도 저하, 공정 안전성 등의 문제점 발생
- 상기 문제점 극복을 위해 반도체·에너지산업센터 보유장비(미세유체 반응시스템 등)와 전문 인력의 기술 지도가 필요한 상황임

지원내용 - 상기 기업은 반도체 산업의 국내 기술경쟁력 강화와 핵심기술 초격차 확보를 위해 지속적인 기술개발이 필요한 상황임. 특히 EUV 소재 합성 공정과 관련한 기술적 애로를 해소하는 것이 중요한 과제로 요구됨
- 본 센터는 해당 기업의 어려움을 완화하고 기술역량 강화를 지원하기 위해, EUV 소재 합성 공정개발 기술지원을 수행하고 있으며, 이를 통해 기업이 현장의 애로사항을 해소하고 경쟁력을 높일 수 있도록 지원함

주요성과 - 수율 : 40% -> 60% 향상
- 순도 : 90% -> 99% 향상
- 공정 안전성 : 공정 개선으로 합성 취약 조건 개선