보유장비현황
- 보유장비현황
- 레이저 마이크로 가공기
- Laser Micromachining System
- i-Tube No. 2304-C-0010
- NTIS No NFEC-2023-04-286994
- 설치기관 나노종합기술원
- 주소 대전 유성구 대학로 291 (구성동)
- 담당자 이문근 (T.042-366-1632)
- 매뉴얼
-
예약가능여부(장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
코썸사이언스
-
모델 명
µ_Fab SYNF2000
내용연수11년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기계가공/시험장비 > 성형/가공장비 > 표면가공기
-
취득일
2023.04.03.
취득금액₩599,450,000
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
장비 사용법
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료[Hr] ₩30
장비설명
- 본 장비는 나노바이오센서 시작품 등의 제작을 위해서 설계된 도면을 이용하여 금속/비금속등을 레이저를 이용하여 마이크로 패턴을 가공하는 핵심 장비임 (열손상 및 균열 등의 거의 발생하지 않아 초정밀 가공 가능)
장비 구성 및 성능
1. Stage
1) Size 1300 x 1400 x 1411mm
2) X, Y Axis Position Accuracy : ≤± 2um
3) Z Axis Position Accuracy : ≤± 5um / Full
2. Work Table
1) X Axis : 500mm
2) Y Axis : 600mm
3) Z Axis : 50 mm
3. Vision Align : Area Camera(5M)
1) Pixel Size : 3.45um
2) F.O.V : 8.445 x 7.065mm
4. LASER
1) Wavelength : 1030nm
2) Power : 20W
3) Pulse energy : 100uJ
4) Pulse duration : 300 fs - 20 ps
5. Inspection Optic
1) 대물렌즈 : M plan 1.25x,5x,10x,20x,50x,100x
2) 접안렌즈 : Field number 22mm, 10x
3) Camera : 2.8Mega Pixel / 60fps
4) 제진대 : 1300x700x800mm