기업협력본부

박막두께측정장치 (Alpha step)

* 원리 : 시료 표면의 박막을 스타일러스라는 촉침을 이용하여 직접 스캔, 박막단차를 측정…
○ Step height repeatability : 5Å이하 ○ 최소측정박막두께 : 5…

전자빔증착장비 (E beam evaporator)

전자빔증착장비 이빔은 물리적 증착방법인 PVD(Physical Vapor Depositio…
○ 장비구성 - 싱글프로세스챔버 유닛 - 전자빔모듈 유닛 …

마스크얼라이너IV (Mask alignerIV)

본 장비는 UV광원을 이용하여 마스크의 패턴을 PR(감광제)이 도포되어 있는 웨이퍼에 전…
∘ 적용가능 기판크기 : 2, 4, 6인치 ∘ 사용가능 마스크 크기 : 3, 5, 7인…

주사전자현미경 (Scanning Electron Microscope)

본 기기는 전자총에서 방출된 전자를 집광시켜 시료에 조사시키고 시료의 damage를 최소화…
● 주사전자현미경 - 전자총 : 전계방사형 전자총 - 가속 전압 범위 : (0.1…

고신뢰성 온도사이클챔버 (High reliability temperature cycling chamber)

본 장비는 광융합산업 소재·부품·제품 등에 대한 환경 신뢰성 시험에 활용되는 장비이며, 최…
(1) 고신뢰성 온도사이클챔버 1) Main Chamber System : 1s…

에어필터시스템 (AIR FILTER SYSTEM)

실내부에서 부유입자의 농도가 제어되고, 입자의 유입,발생,보유를 최소화하기 위하여 공기를…
장비주요 구성은 송풍기,모터,케이싱,인버터판넬,실외기,가습기 등으로 구성되며, 주요부품인…

표면발광레이저측정기 (VCSEL Sorter)

웨이퍼링에 분리되어있는 상태로 공급되는 VCSEL Chip을 고정밀 카메라로 위치를 확인하…
1) 웨이퍼링 로딩 유닛 ○ 웨이퍼링 트레이 (Tray) ○ X…

유기화학기상증착장비 3 성능향상 (MOCVD 3 UPGRADE)

본 물품은 AIXTRON사 2002년 제조된 AIX200/4 RF 모델에 성능 향상을 위하…
1. Chamber Outer Tube, Quartz, 1ea. 2. Chamber In…

터보냉동기 (Centrifugal Chiller)

○ 클린룸 연구시설 중 온습도 유지 관련 중요한 장비 - 온습도 유지 : 공정에 중요…
1) 압축부(Compressor, Motor) ① 압축기 - HFC-134a용 반…

플라즈마 원자층 증착장비 (Plasma ALD)

1. 나노 단위의 박막공정이 가능한 장비로 Al2O3, SiO2, ZnO, TiO2, Hf…
1) 공정 제어 및 모니터링시스템 (OS포함) 1.1) 공정제어용 컴퓨터 사양 …